MEMS与纳米技术、智能传感器与仪器、集成微色谱技术、呼吸诊断技术、超精密加工技术等。

1973年6月出生，博士，5822yh银河国际机械工程学院教授、国家生物安全基地副主任、机械制造系统国家重点实验室研究员。2002年5822yh银河国际博士毕业留校， 2002年8月至2004年3月香港理工大学材料研究中心进行博士后研究，2009年获教育部新世纪优秀人才。目前担任中国微纳米学会微纳制造与装备分会理事、中国材料学会智能传感功能材料与器件分会委员、陕西省医学学会会员。已主持国家863项目、国家自然科学基金项目、国家重点产品研发计划项目、省部级项目及企业项目数十项。担任机械工程与技术编委，Optics Express、Ionics等国际期刊审稿人，科技部国家奖、科技部国合项目评审专家，陕西省中小企业首席工程师。以第一或通讯作者在Sensors and Actuators B、International Journal of Machine Tools & Manufactures、]. Applied Surface Science 等期刊已发表文章160余篇；申请国家发明专利50余件，授权发明专利40余件，多项专利得到产业转化，取得了良好的经济效益；获教育部科技进步一等奖1项，北京市科技进步二等奖1项，张佩柯奖教金1次及其它奖励若干项。参与了《MEMS技术与应用》两章、英文专著《Materials for devices》一章的编写，起草并已颁布行业规范一项。已独立培养了毕业了50名的硕士、博士研究生，其中1名博士生获得上银优秀博士论文佳作奖，7名硕士获得校级优秀硕士论文。

近5年主持的代表性研究项目：

1.痕量复杂多组分微纳气敏原位传感技术，国家重点产品研究计划， 2022.12.1-2025.11.30。

2.氢气传感器开发，企业项目，2021.8.20-2023.7.31。

3.重20200187基于大气污染控制的低功耗微纳气体传感器及模组技术研发，深圳市重点产品开发项目，2020.9.1-2022.9.31。

4.专用多参数气氛环境传感器芯片的研制，企业项目，2019.9.30-2021-6.30。

5.微纳VOCs气体传感器，陕西省重点产品研发计划，2019.1.1-2020.12.31。

近5年代表性论著：

1.Hydrothermal synthesis of flower-like In2O3 as a chemiresistive isoprene sensor for breath analysis，Sensors and Actuators B: Chemical，2020: 0925-4005.

2.Magnetron co-sputtering optimized aluminum-doped zinc oxide (AZO) film for high-response formaldehyde sensing. Journal of Alloys and Compounds. 2021: 0925-8388.

3.Optimal Pt mesoporous layer modified nanocomposite film with highly sensitive detection of ethanol at low temperature. Applied Surface Science. 2022: 0169-4332.

4.MEMS-based resistive hydrogen sensor with high performance using a palladium-gold alloy thin film. Journal of Alloys and Compounds. 2022: 0925-8388.

5.Conductometric ethanol gas sensor based on a bilayer film consisting of SnO2 film and SnO2/ZnSnO3 porous film prepared by magnetron sputtering. Sensors and Actuators B: Chemical. 2023: 0925-4005.

科研获奖：

1、微机械力学性能测试仪，教育部科技进步一等奖，2005年，第2完成人。

2、基于微色谱的快速准确高灵敏气体检测关键技术及应用，2020年，北京市科技进步二等奖，第2完成人。

3、微纳集成气体传感器，2019，第二十一届国际高新技术成果交易会，优秀产品奖，第1完成人。

4、吹口气、知健康、智诊断——微纳便携式疾病呼吸检测仪，2023年，陕西省科技工作者创新创业大赛，第1完成人。

人才称号：

1、2008年，获5822yh银河国际青年骨干教师教授。

2、2009年，获教育部新世纪优秀人才。